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2019年7月4日木曜日

レーザーCVD法を用いて、緻密なa-SiAION層のコーティング膜を生成させることに成功しました。

勉強の為に引用しました。
https://www.jst.go.jp/sip/k03/sm4i/project/project-c.html

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