https://www.nikkei.com/article/DGXZQOCD319PO0R30C24A7000000/
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沖縄科学技術大学院大学（OIST）は、最先端半導体の製造に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置の消費電力や製造コストを大幅に減らせる技術を開発した。装置の光源から露光までのEUVの経路に配置する反射ミラーの数を従来の10枚から4枚に減らす。大量のエネルギーを使うEUV光源の消費電力を桁違いに削減できる。企業と協力して同装置の国産化を目指す。
OISTの新竹積教授が新技術を開発した。EUV露光装置...
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