ニュースイッチ # 半導体 # キヤノン # 東京エレクトロン # アルバック キヤノン・アルバックが狙う…半導体装置で生まれた新たな成長領域 2024年08月20日 テクノロジー Twitter Facebook LINE B! Pocket キヤノン・アルバックが狙う…半導体装置で生まれた新たな成長領域 アルバックはコンソーシアムに参加し、アドバンスドパッケージングの技術開発を進める（ポリマー材料に対するプラズマエッチングのＳＥＭ画像） ADVERTISEMENT 先進後工程に参入 半導体製造装置各社に新たな成長領域が生まれている。先進後工程の「アドバンスドパッケージング」だ。生成人工知能（ＡＩ）向けの半導体には回路の微細化に加え、アドバンスドパッケージングの技術が欠かせない。従来の後工程よりも複雑な製造方法が求められる中、前工程の製造技術を応用し、各社が参入を狙う。（小林健人） 生成AI向け需要急増 前工程用装置を応用 ADVERTISEMENT アドバンスドパッケージングはチップ同士を横や縦方向に密接に接続して、性能向上を目指す技術のことだ。これまで半導体の性能向上に寄与してきた回路の微細化に限界が見えてきたことから、各社は新たな技術の開発に力を入れる。 需要が急速に増す背景には生成ＡＩがある。ＡＩデータセンター（ＤＣ）で使われる米エヌビディアの製品は、画像処理半導体（ＧＰＵ）とＤＲＡＭを複数積層した広帯域メモリー（ＨＢＭ）を合わせて使う。その際、ＧＰＵとＨＢＭを密接に接続するのに微細な配線加工などが必要になる。 ADVERTISEMENT これまで回路形成を行う前工程を手がけてきた製造装置各社も照準を定めている。 キヤノンは後工程向けの露光装置でトップシェアを握る。前工程の技術を応用し、２０１１年から初号機を展開する。東京エレクトロンはウエハー同士を接合するウエハーボンディング装置が好調だ。各社の幹部は「（生成ＡＩの普及が始まった）２４年の引き合いは強まっている」と口を揃える。 ADVERTISEMENT 次を見据えた開発も進む。化学機械研磨（ＣＭＰ）装置で強みを持つ荏原は縦方向に積層するチップ数が増えることを商機と捉える。今後、半導体デバイスの性能をより高めるためチップの積層が増えると予想されており、将来はチップ同士を直接接続するハイブリッドボンディングが採用される見込みだ。ハイブリッドボンディングではＣＭＰによる平坦化が欠かせない。当然、チップの積層数が増えるほどＣＭＰの出番は増える。同社は顧客での量産適用には「もう少し時間を要する」とするが、「引き合いは強まっている」と話す。 チップレット集積研究 歩留まり向上へ多分野連携 ADVERTISEMENT アルバックは東京工業大学が中心となって進める「チップレット集積プラットフォーム・コンソーシアム」に参加し、チップレット技術の研究開発を進める。同コンソーシアムはチップレット同士を直接結び、一つの構造物にする「メタＩＣ」の研究開発を進める。アルバックは強みを持つエッチング装置の技術などを微細なビアの形成に生かす。 ADVERTISEMENT 現在はビア形成にリソグラフィーを使うが、今後配線の幅と隣り合う配線同士の間隔「ラインアンドスペース」が狭まれば、リソグラフィーだけで対応できなくなる。アルバックの先進技術研究所半導体応用技術研究部第２研究室の森川泰宏室長は「ラインアンドスペースが３マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）以下になるとリソグラフィーだけで対応することが難しくなる」と話す。そのため前工程で使われるような微細加工技術を応用していく必要がある。 アルバックはコンソーシアムの参加企業とともに、この研究開発を進めており、誘電損失の少ないポリマー材料にエッチング加工を施して微細なビアを形成し、電極を作った。森川室長は「形としてはきれいにできた」とし、電気特性などを調べているという。 ADVERTISEMENT 同社が持つプラズマ処理装置も先進後工程では有効だ。主な用途はハイブリッドボンディングの前処理でウエハーを活性化させるのに使う。将来的にはチップと配線層はハイブリッドボンディングで接合することを想定し、技術開発を続ける。 また、アルバックはレゾナックが主導して米シリコンバレーに設立した「ＵＳ―ＪＯＩＮＴ」にも参加。先進後工程などの技術を必要とする米国の半導体メーカーからの意見を参考に概念実証（ＰｏＣ）を行う計画だ。電子機器事業部事業企画部の久保純也主事は「顧客に近い場所でＰｏＣを実施し、今後の装置開発に生かしていきたい」と展望を話す。 先進後工程の研究開発は始まったばかりで、技術の方向性は決まっていない。森川室長は「この分野は歩留まりが全て。この課題に貢献するには材料など、さまざまなプレーヤーが集まってあるべき姿を見つけていかないといけない」とコンソーシアムの意義を語る。半導体大手がこぞって先進後工程の研究開発に乗り出している中、半導体製造装置メーカーも研究開発の手は緩めない。 【関連記事】 世界の半導体工場で、揺るぎない信頼を集めるクリーン搬送装置 日刊工業新聞 2024年08月16日 関連記事 半導体後工程向け「i線露光装置」生産倍増へ、キヤノンの勝算 半導体後工程向け「i線露光装置」生産倍増へ、キヤノンの勝算 # キヤノン キヤノン、通期上方修正し売上高最高に デジカメ販売伸びる キヤノン、通期上方修正し売上高最高に デジカメ販売伸びる # キヤノン 「半導体投資」インドに照準…日本勢「米中」の影響回避 「半導体投資」インドに照準…日本勢「米中」の影響回避 # 半導体 EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入 EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入 # 東京エレクトロン 半導体製造の“日陰”後工程が一大トレンド、ラピダスが切り札に 半導体製造の“日陰”後工程が一大トレンド、ラピダスが切り札に # 半導体 量子コンピューターの国産化率と性能を高める。ＮＥＣが「超電導型」試験環境を構築 量子コンピューターの国産化率と性能を高める。ＮＥＣが「超電導型」試験環境を構築 # ＮＥＣ 編集部のおすすめ 三井化学・東ソーは下方修正…総合化学5社の通期見通し、分かれた明暗 三井化学・東ソーは下方修正…総合化学5社の通期見通し、分かれた明暗 # 三井化学 次世代型太陽電池の本命「ペロブスカイト太陽電池」がわかる。研究開発と産業化への現在地 次世代型太陽電池の本命「ペロブスカイト太陽電池」がわかる。研究開発と産業化への現在地 # ペロブスカイト太陽電池 「自動車保険」値上げ…大手損保4社、特約充実で理解求める 「自動車保険」値上げ…大手損保4社、特約充実で理解求める # 自動車保険 消費電力５割減へ…NTTドコモが25年度本格導入、「仮想化基地局」の利点 消費電力５割減へ…NTTドコモが25年度本格導入、「仮想化基地局」の利点 # NTTドコモ 【初心者向け】知っておいて損はない、半導体の基礎知識 【初心者向け】知っておいて損はない、半導体の基礎知識 # 業界基礎知識 認証不正の影響残る…トヨタ系部品メーカー５社の通期予想、分かれた明暗 認証不正の影響残る…トヨタ系部品メーカー５社の通期予想、分かれた明暗 # トヨタ自動車 あわせて読みたい 保育士 ユアマイスター 中野区 : "トイレ・バス付モダンハウス" 耳を疑う新価格 (2023) モダンハウス | 検索広告 【あきる野市内】週2回～◎未経験OK♪★放課後等デイサービス・児童発達支援事業所で児童指導員として支援の経験を積みませんか？ ジョブメドレー A-905FX ONKYO プリメインアンプ オンキヨー LINEヤフー株式会社 by Taboola FOCAL／トールボーイスピーカー Aria Evo X N2 BHG [1本(2本注文のみ受付)] 275,000円 - Bic Camera | スポンサー 在庫台数約35,000台のガリバーで、欲しい中古車を見つけましょう 【ガリバー中古車】 | スポンサー 「トヨタバッテリー」始動、蓄電池PHV・EV向け拡大へ…トヨタ会長がかみしめた喜び ニュースイッチ by 日刊工業新聞社 ベンツ日本が投入、ミニバン「Vクラス」新型の性能 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社 注目キーワード解説 ペロブスカイト太陽電池 薄く軽くて曲げられる特性を持たせられる次世代型の太陽電池。桐蔭横浜大学の宮坂力研究室で誕生した。壁や屋根、柱などの曲面に設置できるほか、電気自動車やＩｏＴ機器への搭載が見込まれる。既存のシリコン製太陽電池よりも安価に製造できる可能性があり、普及が期待されている。複数の国内メーカーや大学などで実用化に向けた研究開発が進む。【新刊】素材技術で産業化に挑む－ペロブスカイト太陽電池 関連記事 「太陽光」大量導入…福島4市町、5年でゼロカーボンなるか 「太陽光」大量導入…福島4市町、5年でゼロカーボンなるか # 太陽光 「ペロブスカイト太陽電池」の中国製品、販売企業が考える中国の現在と日本の勝算 「ペロブスカイト太陽電池」の中国製品、販売企業が考える中国の現在と日本... # ペロブスカイト太陽電池 屈曲性高い太陽電池を屋上に…既存ビルをZEB化 屈曲性高い太陽電池を屋上に…既存ビルをZEB化 # 太陽電池 関連記事をもっと読む ピックアップ 【100社超・一覧】これまでの「ディープテックを追え」はこちら 【100社超・一覧】これまでの「ディープテックを追え」はこちら ランキング 24時間 週間 月間 「N-BOX」が首位陥落…10月の新車販売、トップ５の車種名 鹿島・大林組・大成建設は売上高最高…ゼネコン大手4社、4－9月期決算の全容 かつての輝き取り戻せるか、ニデック・岸田体制が見せ始めた”ポスト永守”の独自色 日産は90％減…乗用車メーカー7社の4-9月期、4社が営業減益の要因 キヤノン・セイコーエプソン…OA5社の通期予想、下方修正相次ぐ理由 トップ テクノロジー 記事詳細 ニュースイッチ ニュースイッチは、日刊工業新聞のニュースやオリジナルコンテンツを、より新鮮に親しみやすく発信するサイトです。 専門的でありながら、わかりやすく楽しいコンテンツで、ビジネスに新しいスイッチを入れます。 ニュース 新着 トピックス ビジネス・経済 テクノロジー クルマ・鉄道・航空 教育・キャリア スタートアップ 特集・連載 キーワード解説 イベント 動画 広告アーカイブ 記者・編集者 公式SNS Twitter Facebook Line YouTube Instagram ニュースイッチについて 広告掲載のご案内 プライバシーポリシー 利用規約 著作権 記事利用について 運営会社 お問い合わせ 日刊工IDポータル 日刊工業新聞電子版 TREK! Nikkan BookStore NIKKAN EVENTS Biz-Nova Cookie 設定 掲載記事の無断転載を禁じます。 発行：株式会社日刊工業新聞社 Copyright 2022 NIKKAN KOGYO SHIMBUN, LTD.