EUV露光の消費電力を10分の1に、OISTがミラー減らした新技術 沖縄科学技術大学院大学（OIST）教授

教授の新竹積氏は、先端半導体の製造に使うEUV（極端紫外線）露光装置の消費電力を従来の10分の1に低減する技術を提案した。 光学系の設計を簡素化して光の損失を減らし、消費電力を100kW以下に抑えた。