レーザーで回路パターン検査を高速化 東大の技術を実用化へ

ウエハーの非破壊検査も可能に

日立ハイテクは、東京大学が開発したレーザー励起光電子顕微鏡（Laser-PEEM）の有用性を確認できたことから、半導体検査装置として実用化するため共同研究に乗り出した。同装置を用いれば、従来に比べ回路パターンの検査工程を大幅に短縮でき、歩留まり向上に貢献できるという。

[馬本隆綱，EE Times Japan